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利用印刷工艺制作使用碳纳米管技术问世

时间:2009-03-11 来源:技术在线

摘  要:
  美国Optomec利用印刷工艺制作出了使用碳纳米管(CNT)、工作频率5GHz的晶体管新闻发布。由美国麻省州立大学(University of Massachusetts)和美国Brewer Science共同开发。由于使用Optomec的印刷技术“Aer ...

  美国Optomec利用印刷工艺制作出了使用碳纳米管(CNT)、工作频率5GHz的晶体管新闻发布。由美国麻省州立大学(University of Massachusetts)和美国Brewer Science共同开发。由于使用Optomec的印刷技术“Aerosol Jet”就可以形成晶体管的全部构成要素,因此无需真空工艺和曝光工艺。

  Aerosol Jet已用于制造太阳能电池和燃料电池等的印刷设备。首先,将导电性及非导电性墨水或浆料制成空气溶胶,而后进行液滴喷射。

  此次,利用印刷技术在Kapton板上形成通道宽200μm、长100μm的晶体管。以5GHz频率工作时的开关电流比大于100。半导体层采用密度为1000/μm2的具有微细结构的CNT。

  麻省州立大学等发表的论文称,栅极和漏极的形成均采用了美国UT Dots的Ag墨水。在130℃的条件下烧结30分钟。

  此前,NEC曾发布过利用印刷技术制作全部构成要素的CNT晶体管。

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