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东大研å‘出å·å¯¹å·å°åˆ·æŠ€æœ¯çš„MEMS显示器
2008-12-02 09:39  ???:3407

  东京大学生产技术研究所开å‘出了基于å·å¯¹å·å°åˆ·æŠ€æœ¯çš„MEMS显示器。这是一款将å°åˆ·å½¢æˆå¾®ç»†å›¾å½¢çš„塑料薄膜粘贴为一体的é€å°„型柔性显示器。通过采用å·å¯¹å·æ–¹å¼ç”Ÿäº§ï¼Œä½¿æ¯å¹³ç±³çš„生产æˆæœ¬å¯æŽ§åˆ¶åœ¨æ•°ç™¾æ—¥å…ƒå·¦å³ã€‚

  该显示器除了å¯ä»¥å¼¯æŠ˜ä¹‹å¤–,还å¯é€šè¿‡é™ç”µæ¥æŽ§åˆ¶é¢œè‰²ï¼Œå¹¶å¯è½»æ¾æ”¹å†™æ˜¾ç¤ºå†…容。因此,将å¯ä½œä¸ºå¹¿å‘Šæ¿ç²˜è´´åœ¨å¤§åž‹æŸ±å­ä¸Šã€ç”µè½¦ã€å¤§æ¥¼çš„窗户等处,还å¯ä½œä¸ºæ— éœ€æ›´æ¢å³å¯æ”¹å†™å¹¿å‘Šå†…容的广告媒体使用。

  此次开å‘的显示器在厚0.2mmå·¦å³çš„塑料底æ¿ä¸Šå½¢æˆäº†å…‰å­¦å射膜(厚12nmçš„é“)和光学干涉膜(厚210~370nmçš„SiO2膜)。通过使隔ç€æ°”隙隔片(厚0.6μm)内的空气层与带光学å射膜的上部薄膜(厚16μï½ï¼‰ç²˜è´´ä¸ºä¸€ä½“,从而实现了é€å°„型彩色薄膜的功能。将光å射时使用的金属å射膜作为é™ç”µé©±åŠ¨ç”¨ç”µæžï¼Œå¦‚果对其施加电压,顶部的薄膜就会在挤压出空气间隙内的空气的åŒæ—¶ï¼Œå‘下部电æžæ–¹å‘弯曲。此时,根æ®æ³•å¸ƒé‡Œ-ç€ç½—干涉原ç†ï¼Œå†³å®šå…‰æ³¢é•¿çš„上下金属å射膜的间隔会å‘生å˜åŒ–,因此é€å°„光的颜色就会å‘生å˜åŒ–。此次,为使未施加驱动电压时的é€å°„光为ç°è‰²ã€è€Œé©±åŠ¨æ—¶å¯ä»¥çœ‹è§å¹²æ¶‰è†œçš„颜色(红ã€ç»¿ã€è“),因此对基于SiO2膜的光学干涉膜厚度é‡æ–°è¿›è¡Œäº†è®¾è®¡ã€‚

  一般的液晶显示器由约10层左å³çš„图案形æˆè†œæž„æˆï¼Œä¸Žå…¶ç›¸æ¯”,此次开å‘的显示器仅用6层å³å¯æž„æˆï¼Œå› æ­¤å¯åˆ©ç”¨è¾ƒç®€å•çš„方法生产。å¦å¤–,还å¯ç”Ÿäº§æœ€å¤§ä¸ºå°åˆ·æœºå¯å°åˆ·å®½åº¦ï¼ˆé€çº¸è®¾å¤‡å®½åº¦ï¼‰çš„大型显示器。

  今åŽï¼Œä¸ºäº†æŽ§åˆ¶å‘色ä½ç½®ï¼Œè¯¥å…¬å¸è¿˜å°†åˆ©ç”¨å°åˆ·æŠ€æœ¯åˆ¶ä½œå¯»å€ç”µè·¯ã€‚å¦å¤–,还期望将此次的å¯ä½¿åœ¨2张薄膜间形æˆçš„空气层厚度å‘生å˜åŒ–的技术应用于更多领域,例如,利用其å¯é€šè¿‡é™ç”µæ”¹å˜å…‰æ³¢é•¿çš„特点,应用于防紫外线的电å­é®å…‰å™¨ç­‰ã€‚

  本研究为产业技术研究助æˆä¸šåŠ¡å›½é™…领域的é‡ç‚¹ç ”究项目,由东京大学生产技术研究所和芬兰国立技术研究中心(VTT)共åŒè¿›è¡Œã€‚