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彩色全æ¯è®°å½•æ料介ç»
2008-09-09 21:50  ???:5606

  全æ¯è®°å½•ææ–™å¯åˆ†ä¸ºæ— æœºå’Œæœ‰æœºä¸¤å¤§ç±»ã€‚大致有å¤åŒ–银乳胶ã€é‡é“¬é…¸ç›æ˜Žèƒ¶ã€æ„Ÿå…‰æ€§é«˜åˆ†å­ã€å…‰å¯¼çƒ­å¡‘性塑料ã€å…‰è‡´å„å‘异性ææ–™ã€å…‰è‡´æŠ˜å˜æ料等,其中应用最广泛的是å¤åŒ–银乳胶和é‡é“¬é…¸ç›æ˜Žèƒ¶æ„Ÿå…‰æ料。根æ®è®°å½•ææ–™å¸æ”¶å…‰åŽæ料性能å˜åŒ–的类型大致åˆå¯åˆ†ä¸ºé€å°„åž‹ã€æŠ˜å°„åž‹ã€æµ®é›•åž‹å’Œæ··åˆåž‹å››ç§ã€‚在全æ¯å°åˆ·ä¸­ä¸»è¦ä½¿ç”¨çš„则为é€å°„åž‹çš„å¤åŒ–银ã€æŠ˜å°„åž‹çš„é‡é“¬é…¸æ˜Žèƒ¶å’Œæµ®é›•åž‹çš„光致抗蚀剂,属折射和浮雕混åˆåž‹çš„以漂白处ç†æ–¹å¼ä½¿ç”¨çš„å¤åŒ–银æ料等。

  记录æ料的选择应从两个方é¢è€ƒè™‘。一是记录波长,有å•æ³¢é•¿è®°å½•å’Œå¤šæ³¢é•¿è®°å½•ä¸¤ç§æƒ…况。å¦ä¸€æ˜¯å…¨æ¯å›¾çš„类型,有é€å°„å…¨æ¯å›¾å’Œåå°„å…¨æ¯å›¾çš„区别。å‰è€…è¦è€ƒè™‘记录æ料的çµæ•æ³¢é•¿ï¼ŒåŽè€…考虑记录æ料的厚薄。å•æ³¢é•¿è®°å½•çš„é€å°„å¼å…¨æ¯å›¾ï¼Œå¤šç”¨çº¢æ•çš„记录æ料,如国产的天津全æ¯Iåž‹å’ŒII型,Agfa8E75,Ilford SP696T,SP673和俄罗斯的PRG―03等银ç›å¹²ç‰ˆï¼Œå’Œå…‰å¯¼çƒ­å¡‘片等;è“æ•çš„用天津全æ¯III型,8E56银ç›äºŽç‰ˆå’Œå…‰è‡´æŠ—蚀剂等。

  å•æ³¢é•¿è®°å½•åå°„å…¨æ¯å›¾å¤šç”¨DCG版(è“æ•),光致èšåˆç‰©(红æ•æˆ–è“æ•)å’Œ8E56HDã€8E75HD银ç›å¹²ç‰ˆç­‰ã€‚多波长记录é€å°„å…¨æ¯å›¾å¸¸ç”¨649F,8E56银ç›å¹²ç‰ˆã€‚åå°„å…¨æ¯å›¾å¸¸ç”¨8E56HDå’Œ8E75HD记录夹层全æ¯å’Œä¿„ç½—æ–¯PRG―03全色银ç›å¹²ç‰ˆï¼›åŒè‰²DCG版;新兴起的光致èšåˆç‰©æœ‰æœé‚¦å…¬å¸HRF系列和Ommi Dexå…¨æ¯èƒ¶ç‰‡ç³»åˆ—。为了方便详细介ç»å…¨æ¯å¸¸ç”¨è®°å½•æ料的特点,下é¢å…ˆç®€è¦ä»‹ç»å映记录æ料性能的几个主è¦ç‰¹æ€§å‚数。

  全æ¯è®°å½•æ料的特性å‚æ•°

  1,çµæ•åº¦

  çµæ•åº¦æ˜¯è®°å½•æ料在接å—光的作用åŽï¼Œå…¶å应的çµæ•ç¨‹åº¦ã€‚

  因为记录过程是一ç§å…‰åŒ–学作用,光å­çš„能é‡ä¸Žæ³¢é•¿æœ‰å…³ï¼Œæ³¢é•¿æ„ˆé•¿å…‰å­çš„能é‡æ„ˆå°ï¼Œè€Œæ¯ä¸€ç§è®°å½•æ料都有一个波长的红é™ï¼Œæ³¢é•¿å¤§äºŽçº¢é™çš„光对该ææ–™ä¸èƒ½èµ·å…‰åŒ–å­¦å应。此外,æ¯ä¸€ç§æ料都有它自己的å¸æ”¶å¸¦ï¼Œåªæœ‰åœ¨å¸æ”¶å¸¦å†…的波长æ‰èƒ½èµ·å…‰åŒ–å­¦å应作用。这就是记录介质对光谱çµæ•ç¨‹åº¦ä¸åŒçš„原因。

  2 ,光谱çµæ•åº¦

  因为记录过程是一ç§å…‰åŒ–学作用过程,光å­çš„能é‡ä¸Žæ³¢é•¿æœ‰å…³ï¼Œæ³¢é•¿æ„ˆé•¿å…‰å­çš„能 é‡æ„ˆå°ï¼Œé€šå¸¸æ¯ä¸€ç§è®°å½•ä»‹è´¨éƒ½æœ‰ä¸€æ³¢é•¿çš„红é™ï¼Žæ³¢é•¿å¤§äºŽçº¢é™çš„å…‰ä¸èƒ½èµ·å…‰åŒ–学作用。å¦å¤–对æ¯ä¸€ç§è®°å½•ä»‹è´¨éƒ½æœ‰å®ƒçš„å¸æ”¶å¸¦ï¼Œåœ¨å¸æ”¶å¸¦å†…的波长æ‰èƒ½èµ·å…‰åŒ–学作用,这就是光谱çµæ•åº¦ã€‚必须在该波段有å¸æ”¶å¸¦ã€‚图5―8画出国产Iåž‹å’ŒIåž‹å…¨æ¯å¹²ç‰ˆKador 649Fã€Ilfordå’ŒAgfaå…¨æ¯å¹²ç‰ˆçš„特性曲线。

  3, è¡å°„效率

  è¡å°„效率定义为全æ¯å›¾è¡å°„æˆåƒçš„光通é‡ä¸Žå†çŽ°ç…§æ˜Žå…‰æ€»å…‰é€šé‡ä¹‹æ¯”。è¡å°„效率ä¸ä»…与记录介质的性质有关,还与全æ¯å›¾çš„类型和æ¡çº¹çš„调制度有关。一般说æ¥ä½ç›¸åž‹è®°å½•æ料的è¡å°„效率较振幅型的高。æ¡çº¹è°ƒåˆ¶åº¦åˆ™ä¸Žå‚ã€ç‰©å…‰æŸæ¯”有关。对于åŒä¸€ç§è®°å½•æ料,è¡å°„效率还与全æ¯å›¾çš„空间频率有关。表列出ä¸ç±»åž‹ç†æƒ³å…¨æ¯å›¾çš„ç†è®ºè¡å°„效率。

  表 ç†æƒ³è®°å½•ä»‹è´¨çš„è¡å°„效率的ç†è®ºå€¼

å…¨æ¯å›¾ç±»åž‹

è–„é€å°„å…¨æ¯å›¾

调制方å¼

余弦振幅

矩型振幅

余弦ä½ç›¸

矩型ä½ç›¸

è¡å°„效率

0.063

0.101

0.339

0.404

å…¨æ¯å›¾ç±»åž‹

厚åå°„å…¨æ¯å›¾

è–„åå°„å…¨æ¯å›¾

调制方å¼

余弦振幅

矩型振幅

余弦ä½ç›¸

矩型ä½ç›¸

è¡å°„率

0.037

1.000

0.072

1.000

  4,分辨率

  记录æ料的分辨率通常以1mm长度中能够识别的线对数æ¥è¡¨ç¤ºï¼Œå³è®°å½•æ料所能记录的æ›å…‰å¼ºåº¦çš„空间调制的最大空间频率,其å•ä½æ˜¯1/mm。普通照相用胶å·çš„分辨率åªéœ€è¦200线/mm就够了。记录全æ¯å›¾æ—¶ï¼Œå¯¹è®°å½•æ料分辨率的è¦æ±‚与å‚ã€ç‰©å…‰æŸçš„夹角有关。

  5,特性曲线

  特性曲线表示与记录æ料有关的一些å‚é‡ä¹‹é—´çš„关系,普通照相用 曲线, 是光密度,也称黑密度,它等于é€å°„率 的倒数的对数, 是振幅é€å°„系数,H是记录ææ–™æ›å…‰é‡ã€‚在全æ¯æœ¯ä¸­å¸¸ç”¨æ›´ä¸ºåˆé€‚çš„H曲线。ç†æƒ³çš„振幅记录æ料的 曲线应当是线性的。

  对于ä½ç›¸è®°å½•æ料,é€å°„函数中ä½ç›¸çš„æ”¹å˜ éšæ›å…‰é‡çš„改å˜è€Œæ”¹å˜ã€‚ç†æƒ³çš„ä½ç›¸è®°å½•ææ–™ ï¼H曲线应当是线性的。实际的ä½ç›¸è®°å½•æ料在适当的æ›å…‰é‡èŒƒå›´å†…有一个线性区域å¯ä»¥åˆ©ç”¨ã€‚

  在全æ¯åˆ¶ç‰ˆä¸­å…¨æ¯å›¾çš„è¡å°„效率是个很é‡è¦çš„å‚é‡ï¼Œè¡å°„效率与记录ææ–™ã€æ›å…‰å¼ºåº¦çš„调制度ã€æ›å…‰é‡çš„大å°éƒ½æœ‰å…³ç³»ã€‚为了æ高全æ¯åŽŸç‰ˆçš„è´¨é‡ï¼Œä¼˜åŒ–制版工艺,应当分æžè®°å½•æ料在ä¸åŒæ›å…‰é‡æ¡ä»¶è¡å°„效率与æ›å…‰å¼ºåº¦çš„调制度V的关系,å³ä»¥H0为å‚æ•°çš„ 曲线;或者在ä¸åŒè°ƒåˆ¶åº¦æƒ…况下è¡å°„效率与æ›å…‰é‡çš„关系,å³åœ¨V为å‚é‡çš„ 曲线。

    6,噪声

  记录æ料的噪声是指æ料本身的粒度ä¸å‡åŒ€æ€§å’Œè¡¨é¢çš„粗糙度造æˆçš„散射光。æ›å…‰æ˜¾å½±å¤„ç†ä»¥åŽå™ªå£°è¿˜ä¼šå¢žåŠ ï¼Œå¦‚éžçº¿æ€§è®°å½•äº§ç”Ÿçš„噪声,å‚考光和物光波的散射光间产生的干涉æ¡çº¹æˆ–散斑等。对于银ç›å¹²ç‰ˆï¼Œæ˜¾å½±çš„速度以åŠæ¼‚白处ç†ç­‰è¿‡ç¨‹éƒ½ä¼šä½¿é¢—粒度增加,产生噪声。

  常用的全æ¯è®°å½•ææ–™

  ç†æƒ³çš„记录æ料应当对æ›å…‰æ‰€ç”¨çš„波长有高çµæ•åº¦ã€é«˜åˆ†è¾¨çŽ‡ã€ä½Žå™ªå¹¶ä¸”具有线性的 曲线。从生产的角度æ¥è€ƒè™‘还应该具有能够é‡å¤ä½¿ç”¨å’Œä»·æ ¼ä¾¿å®œç­‰ä¼˜ç‚¹ã€‚实际上对æŸä¸€ç§è®°å½•ææ–™æ¥è¯´æ˜¯ä¸å¯èƒ½åŒæ—¶æ»¡è¶³è¿™äº›æ¡ä»¶çš„。

  1,å¤åŒ–银乳胶

  å¤åŒ–银感光æ料是最常用的一ç§å…¨æ¯æ料,它具有高çµæ•åº¦ã€å…‰è°±å“应宽ã€åˆ†è¾¨çŽ‡é«˜å’Œé€šç”¨æ€§å¼ºç­‰ä¼˜ç‚¹ï¼Œä½†è¡å°„效率和信噪比低。å¤åŒ–银乳胶片分为胶片(软片)和干版(硬片)两ç§ï¼Œå…¶ä¸»è¦ç»“构是感光层和片基,感光层åˆç§°ä¹³èƒ¶å±‚,由超微粒å¤åŒ–银(主è¦æˆåˆ†ä¸ºAgBrå’ŒAgCl)晶粒悬浮在明胶中,å†åŠ ä¸Šä¸€å®šçš„æ•åŒ–剂制æˆçš„乳胶,其厚度一般为0.01~5μm,乳胶附ç€åœ¨ç‰‡åŸºä¸Šï¼Œä¹ æƒ¯ä¸ŠæŠŠç‰‡åŸºä¸ºçŽ»ç’ƒæ¿çš„称为全æ¯å¹²ç‰ˆï¼Œè€Œç‰‡åŸºä¸ºé†‹é…¸ç›å’Œæ¶¤çº¶ç‰‡ç­‰èƒ¶ç‰‡çš„则称全æ¯è½¯ç‰‡ã€‚作为全æ¯ç”¨çš„å¤åŒ–银乳胶中微粒度è¦æ±‚为0.03~0.09μm。

  由于粒度越å°æ„Ÿå…‰çµæ•åº¦è¶Šä½Žï¼Œæ‰€ä»¥å…¨æ¯å¹²ç‰ˆçš„æ›å…‰é‡è¾ƒæ™®é€šç…§ç›¸å¹²ç‰ˆå¤§å¾—多。全æ¯å¹²ç‰ˆçš„标准显影剂是D19,这ç§æ˜¾å½±å‰‚能得到较高的值。显影åŽçš„银颗粒大å°ä¸º0.1~0.2μm。细微粒的显影剂是D76,显影出的银粒呈ä¸çŠ¶ã€‚银颗粒越细,全æ¯å›¾çš„è¡å°„效率å¯ä»¥æ高,åŒæ—¶å™ªå£°é™ä½Žã€‚如果银的粒度å°äºŽæ³¢é•¿ï¼Œåˆ™ç‘žåˆ©æ•£å°„å¯ä»¥é€‚用。超细微粒干版用D76稀释显影液显影,干版呈棕红色,银的粒度为0.005~0.025μm,全æ¯å›¾çš„è¡å°„效率å¯ä»¥è¾¾åˆ°40%。å¦ä¸€ç§æ高è¡å°„效率的方法是用D76显影åŠF5定影åŽï¼Œå†ç”¨R10(NaCl)漂白,然åŽç”¨å¼ºå…‰ç…§å°„,使全æ¯å›¾ä¸Šæ›å…‰éƒ¨åˆ†çš„生æˆç‰©ä¸ºå…‰è§£é“¶ï¼Œå…¶ç²’度为0.01μm。全æ¯çš„è¡å°„也å¯ä»¥æ高。

  全æ¯å¹²ç‰ˆç»æ›å…‰å’Œæ˜¾å½±å¤„ç†åŽå¾—到振幅型全æ¯å›¾ï¼Œå¦‚æžœç»è¿‡æ¼‚白处ç†åˆ™æˆä¸ºä½ç›¸åž‹çš„å…¨æ¯å›¾ã€‚漂白是用氧化剂将金属银还原为é€æ˜Žé“¶ç›ï¼Œå…¶ç»“果是使全æ¯å›¾ä¸Šæ›å…‰éƒ¨åˆ†çš„明胶折射率ä¸åŒã€‚è¡å°„效率的æ高与上述两者的折射率之差有关,但是并ä¸æ˜¯å·®å€¼è¶Šå¤§è¶Šå¥½ï¼Œè€Œæ˜¯æœ‰ä¸€ä¸ªæœ€ä½³å€¼ã€‚漂白用的氧化剂有很多ç§ï¼Œå¸¸ç”¨çš„氯化汞(HgCl2)ã€æ°¯åŒ–é“(FeCl3)ã€é“氰化钾[K3Fe(CN)6]ã€é‡é“¬é…¸é“µ[(NH4)Cr2O7]ã€ä»¥åŠæº´åŒ–é“œ(CuBr2)等。上述氧化剂与金属银作用åŽç”Ÿæˆç‰©åŠå…¶æŠ˜å°„率è§è¡¨ã€‚

    表 漂白åŽçš„银ç›åŠå…¶æŠ˜å°„率

氧化剂

生æˆçš„银ç›

折射率

氧化剂

生æˆçš„银ç›

折射率

HgCl2

FeCl3

CuBr2

AgCl

AgCl

AgBr

2.07

2.07

2.25

K3Fe(CN)6

(NH4)Cr2O7

Ag4Fe(CN)6

AgCl

1.56

2.07

  为了获得一张高质é‡çš„å…¨æ¯å›¾ï¼Œä½¿ç”¨å’Œå¤„ç†å…¨æ¯å¹²ç‰ˆæ—¶è¿˜è¦æ³¨æ„一些技术性问题。全æ¯å¹²ç‰ˆåœ¨æ¶‚布乳胶åŽçš„干燥过程往往产生应力,为消除这ç§åº”力,å¯ä»¥å°†å¹²ç‰ˆåœ¨ä½¿ç”¨å‰æ”¾ç½®åœ¨ä¸€å®šæ¹¿åº¦çš„容器中过一夜。全æ¯å¹²ç‰ˆçš„片基玻璃表é¢å¹³åº¦ä¸€èˆ¬ä¸å¥½ï¼Œåœ¨è®°å½•æ—¶ç”±äºŽèƒŒé¢å射光的影å“,产生一ç§æœ¨çº¹çŠ¶çš„干涉æ¡çº¹ã€‚消除这ç§æ¡çº¹çš„办法是æ›å…‰æ—¶åœ¨å¹²ç‰ˆç‰‡åŸºçŽ»ç’ƒçš„背é¢è¦†ç›–一å—中性玻璃,中间加入折射率与玻璃相匹é…的折射液,当显影时把它去掉。如果记录åå°„å…¨æ¯å›¾ï¼Œå¯ä»¥æŠŠå¹²ç‰ˆæ”¾åœ¨æŠ˜å°„率匹é…的液槽中。æ›å…‰æ—¶å¦‚果光æŸä»¥è¾ƒå¤§çš„角度斜入射在干版上,光从侧é¢è¿›å…¥çŽ»ç’ƒï¼Œå°†åœ¨ä¸¤è¡¨é¢ä¹‹é—´å‘生多次å射,形æˆä¸€æ¡æ¡çš„å°å…¨æ¯å›¾ï¼Œè¿™ä¼šå½±å“å…¨æ¯å›¾çš„è´¨é‡ï¼›æ¶ˆé™¤çš„办法是用光æ é™åˆ¶å…‰æŸï¼Œä½¿å…¶æˆªé¢å°äºŽå…¨æ¯å¹²ç‰ˆï¼Œæˆ–挡ä½å¹²ç‰ˆçš„边缘。

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  2.é‡é“¬é…¸ç›æ˜Žèƒ¶

  é‡é“¬é…¸ç›æ˜Žèƒ¶æ˜¯ä¸€ç§å¾ˆå¥½çš„ä½ç›¸åž‹è®°å½•ä»‹è´¨ï¼Œå®ƒçš„分辨率å¯ä»¥è¾¾åˆ°5000线ï¼mm。é‡é“¬é…¸ç›æ˜Žèƒ¶å…·æœ‰é«˜è¡å°„效率和高信噪比的优点。缺点是感光度低,åªæœ‰ï¼ˆ3~7)×10-3J/cm2,是柯达649F的百万分之一左å³ã€‚é‡é“¬é…¸ç›æ˜Žèƒ¶å¯¹æ¸©åº¦å’Œç»†èŒçš„å应æ•æ„Ÿï¼Œä¸”对环境的温湿度æ•æ„Ÿï¼Œæ€•æ½®æ¹¿ï¼Œå›¾åƒä¸ç¨³å®šï¼Œå®¹æ˜“消åƒï¼Œæ‰€ä»¥åº”放在密闭容器中ä¿å­˜ã€‚铬对人有毒。

  é‡é“¬é…¸ç›æ˜Žèƒ¶çš„硬化明胶折射率å¯è¾¾åˆ°0.08,用于记录体积全æ¯æ—¶å…¶Î·ï¼H曲线。明胶有硬化和末硬化的两ç§ã€‚未硬化的明胶å¯ä»¥åˆ¶ä½œæµ®é›•åž‹å…¨æ¯å›¾ï¼›ç¡¬åŒ–的明胶适åˆäºŽåˆ¶ä½œæŠ˜å°„åž‹çš„ä½ç›¸åž‹å…¨æ¯å›¾ã€‚由于这ç§æ料被光照射的部分ä¸å˜é»‘,在全æ¯å›¾å†çŽ°æ—¶ä¸å¸æ”¶å…‰ï¼Œå› æ­¤å…¶è¡å°„率高,用它制作的体积全æ¯å›¾çš„è¡å°„效率å¯è¾¾åˆ°90%。

  é‡é“¬é…¸ç›æ˜Žèƒ¶å’Œå…¶ä»–é‡é“¬é…¸ç›èƒ¶è´¨æ˜¯åº”用最早的照相æ料。明胶是从动物的天然蛋白质骨胶中æå–的。明胶中掺有少é‡ç”¨ä»¥æ•åŒ–çš„é‡é“¬é…¸ç›åŽï¼Œç”¨çŸ­æ³¢é•¿çš„è“紫光照射,æ›å…‰çš„地方å˜ç¡¬ï¼Œè¾ƒæœªæ›å…‰çš„的地方难溶于水,水洗åŽå¯ä»¥è½¬æˆåŽšåº¦ã€å¯†åº¦æˆ–两者兼有的å˜åŒ–,因此å¯ç”¨å®ƒåšå…¨æ¯æ料,产生由厚度或折射率调制ä½ç›¸åž‹å…¨æ¯å›¾ã€‚é‡é“¬é…¸ç›æ˜Žèƒ¶å¸æ”¶åŒºçš„波长大约为540nm,因此åªèƒ½ç”¨äºŽæ°©ç¦»å­æ¿€å…‰çš„514.5nmå’Œ488nm,或氦镉激光的412nm波长。因为é‡é“¬é…¸ç›æ˜Žèƒ¶å¹²ç‰ˆï¼Œä¸åƒå¤åŒ–银干版中有微å°çš„银粒å­ï¼Œæ‰€ä»¥å®ƒçš„分辨率很高,å¯è¾¾2000~5000线ï¼mm。

  如果用氦氖激光的632.8nm波长,在明胶中还得加入其他æ•åŒ–染料,常用的染料有亚甲è“和亚甲绿。

  3.光致抗蚀剂

  光致抗蚀剂是一ç§å¾ˆé€‚åˆäºŽè®°å½•è–„浮雕ä½ç›¸åž‹å…¨æ¯å›¾çš„å…‰æ•æœ‰æœºè®°å½•æ料。这ç§ææ–™ç»è¿‡æ›å…‰å’Œæ˜¾å½±å¯ä»¥å½¢æˆæµ®é›•åƒã€‚它有正型和负型两ç§ç±»åž‹ã€‚

  正型光致抗蚀剂,æ›å…‰çš„地方å¸æ”¶å…‰äº§ç”Ÿæœ‰æœºé…¸ç ´å交è”æˆä¸ºå¯æº¶æ€§æœ‰æœºæ料,通过显影被溶掉;负性的光致抗蚀剂,æ›å…‰çš„地方因å¸æ”¶å…‰åœ¨åˆ†å­é—´å½¢æˆäº¤è”,使有机æ料硬化而å˜å¾—ä¸æº¶è§£ï¼Œæ˜¾å½±åŽåªæœ‰æœªè¢«æ›å…‰çš„部分被溶解掉,留下的是凹凸ä¸å¹³è¡¨é¢çš„å…¨æ¯å›¾ã€‚作为全æ¯è®°å½•æ料,光致抗蚀剂å¯ä»¥ç”¨ç¦»å¿ƒç”©èƒ¶çš„方法制æˆå¾®ç±³é‡çº§çš„薄膜,收缩åŠå˜å½¢éƒ½å¾ˆå°ï¼Œè¡å°„效率高,是制作浮雕全æ¯çš„很好的æ料,分辨率å¯è¾¾åˆ°3000线ï¼mmå·¦å³ã€‚但是用它作为浮雕全æ¯æ料存在ç€ä¸¤ä¸ªç¼ºç‚¹ï¼Œå…¶ä¸€æ˜¯æ„Ÿå…‰çµæ•åº¦ä½Žï¼›å…¶äºŒæ˜¯å…‰è°±å“应范围窄。光致抗蚀剂对è“å…‰æ•æ„Ÿï¼Œé€šå¸¸ç”¨He-Cd激光器的441.6nm波长æ›å…‰ã€‚光致抗蚀剂用于记录全æ¯å›¾ï¼Œè¦æ±‚它必须与片基很好地粘结,为此åªèƒ½é€‰ç”¨æ­£åž‹å…‰è‡´æŠ—蚀剂。

  光致抗蚀剂能在光的作用下产生一ç§å¼ºé…¸ï¼Œé€šè¿‡åŠ çƒ­èƒ½ä½¿ä¸»ä½“æ ‘è„‚å‘生光分解和光交è”å应。由于产生的强酸å¯å¾ªçŽ¯ä½¿ç”¨ï¼Œæ‰€ä»¥å¯èŽ·å¾—高çµæ•åº¦ã€‚ç›®å‰å¹¿æ³›ä½¿ç”¨çš„光酸产生剂是金ç¿ç›ï¼Œå¦‚碘金ç¿ç›ã€ç¡«é‡‘ç¿ç›ã€é“金ç¿ç›ã€ç¢³é‡‘ç¿ç›ç­‰ã€‚如甲酚树脂ï¼Î²ï¼è˜ç”²é…¸å”ä¸é…¯ï¼ä¸‰è‹¯åŸºç¡«å…­æ°Ÿç£·é‡‘ç¿ç›ç»„æˆçš„感光体系,是正型抗蚀剂,感光çµæ•åº¦è¾¾å‡ ä¸ªmJ/cm2。

  国外普é采用Shipleyå…¬å¸çš„MICROPOSITï¼1350(AZï¼1350)正型光致抗蚀剂。国内有北京化工二厂生产的BPï¼212正型光刻胶。

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  4.光导热塑性塑料

  光导热塑性塑料是一ç§æµ®é›•åž‹ä½ç›¸è®°å½•æ料,其结构如图1所示。光导热塑性塑料干版的制造方法,是在玻璃片基上用真空镀膜方法镀上é€æ˜Žçš„导电膜,例如氧化锡,然åŽç”¨åŒ–学的方法,涂布厚度为2~3μm的光电导体和厚度约为1μm的热塑性塑料。光导热塑性塑料的工作原ç†å¦‚图1所示。

  在使用时,首先在暗室中æ•åŒ–光导热塑性塑料。所谓æ•åŒ–就是用带有4~8kV高电压的电网充电,在热塑性塑料和é€æ˜Žå¯¼ä½“这间建立å‡åŒ€çš„电ä½å·® 使干版带电并有感光性,其中d为热塑性塑料和光电导体层的总厚度,ε为相应介电常数,σ为é¢ç”µè·å¯†åº¦ï¼Œå¦‚图1(a)所示。第二步是对干版进行æ›å…‰ï¼Œæ›å…‰éƒ¨åˆ†å…‰ç”µå¯¼æ”¾ç”µï¼Œè‡³ä½¿çƒ­å¡‘层在光照处的电ä½V@下é™ä¸º ,。第三步是使热塑性塑料表é¢ç”µè·å†æ¬¡å‘ˆçŽ°å‡åŒ€åˆ†å¸ƒï¼Œå³å†å……电,由于光照处电容器的厚度d@å˜å°ï¼Œåœ¨ç›¸åŒç”µä½çš„情况下,表é¢ç”µè·å¯†åº¦å¿…然增加,这样就在热塑层表é¢å½¢æˆæ½œåƒï¼Œå¦‚图1(c)所示。第四步是显影和定影,这里的显影过程是先对热塑性塑料加热致60oCå·¦å³ä½¿å®ƒè½¯åŒ–,它在电场作用下会å˜å½¢ã€‚定型过程是冷å´ï¼Œä½¿ä¹‹å½¢æˆæµ®é›•åž‹çš„å…¨æ¯å›¾ï¼Œå¦‚图(d)所示。由于热塑性塑料的热导电性,光导热塑性塑料å¯ä»¥æ“¦é™¤åŽåå¤ä½¿ç”¨ã€‚擦除的方法是把它加热到适当的温度,片å­è¡¨é¢çš„电è·å…¨éƒ¨æ¶ˆå¤±ï¼Œä½¿å¡‘æ–™æ¢å¤åˆ°åŽŸæ¥çš„平整度冷å´ã€‚如图(e)所示。

图 光导热塑性塑料干版的结构与工作原ç†

  光导热塑性塑料作为全æ¯è®°å½•æ料的优点是对å¯è§å…‰æ•æ„Ÿå’Œå¹²æ˜¾å½±ï¼Œé€‚åˆäºŽå®žæ—¶è§‚察,è¡å°„率高,能é‡å¤ä½¿ç”¨ï¼Œå¸ƒå–‡æ ¼æ•ˆåº”很å°ï¼Œæ˜¯è¾ƒä¸ºç†æƒ³çš„å¹³é¢å…¨æ¯å›¾è®°å½•æ料。缺点是分辨率低,å°äºŽ2000线ï¼mm。

  5.光致èšåˆææ–™

  全æ¯è®°å½•ç”¨å…‰è‡´èšåˆç‰©åŒ…括四类主è¦åŸºæœ¬ç»„分:光引å‘剂ã€ä¹™çƒ¯åŸºå•ä½“ã€å¢žæ„Ÿæ料和载体。æ¯ç§ç»„分都有多ç§ææ–™å¯ä»¥ä½¿ç”¨ã€‚æ ¹æ®ä½¿ç”¨è¦æ±‚ä¸åŒï¼Œå¯ä»¥è¿›è¡Œä¸åŒçš„优化组åˆã€‚光致èšåˆæ˜¯ä¸€ç§å…‰åŒ–学过程,在光的照射下,èšåˆä½“系中产生活性自由基,并引å‘èµ·èšåˆæ•ˆåº”使体系内的å°åˆ†å­æˆ–å•ä½“被组åˆæˆå¤§åˆ†å­æˆ–èšåˆç‰©ã€‚光致èšåˆææ–™å¯ç”¨æ¥åˆ¶ä½œæŠ˜å°„型或浮雕型的ä½ç›¸å…¨æ¯å›¾ï¼Œå…¨æ¯å›¾æœ¬èº«æœ‰å¥½çš„几何ä¿çœŸåº¦ã€‚å…‰èšåˆæ料作为全æ¯è®°å½•æ料,图åƒå½¢æˆçš„机ç†å¯ç”±å›¾5ï¼20表示。æ›å…‰é˜¶æ®µï¼Œå…‰èšåˆç‰©ä½“系在特定波长的激光能é‡çš„作用下产生自由基,并èšåˆå½¢æˆå¤§çš„分å­ã€‚ä¸åŒä½ç½®è®°å½•æ¡çº¹å…‰å¼ºåº¦çš„分布形æˆäº†è®°å½•ææ–™èšåˆåº¦çš„空间分布,å†ç»è¿‡æ˜¾å½±ã€å®šå½±å¤„ç†å½¢æˆå…¨æ¯å›¾ã€‚ä¸åŒèšåˆåº¦çš„物质,å映在光学特性方é¢ï¼Œå°±æ˜¾ç¤ºå‡ºæŠ˜å°„率的差异。

  感光性高分å­æ料,兼有高çµæ•åº¦ã€é«˜è¡å°„效率ã€å…‰è°±å“应范围宽ã€åŠ å·¥ç®€ä¾¿ã€å­˜è´®ç¨³å®šç­‰ä¼˜ç‚¹ï¼Œæ˜¯ç›®å‰ç ”究开å‘çš„é‡ç‚¹ã€‚感光性高分å­æ料从å应机ç†å¯ä»¥åˆ†ä¸ºå…‰èšåˆåž‹ã€å…‰äº¤è”型和分解型。它们å¯ä»¥ç”¨äºŽåˆ¶ä½œæµ®é›•åž‹æˆ–折射型的ä½ç›¸å…¨æ¯ã€‚

  除了上é¢ä»‹ç»çš„几ç§å¸¸ç”¨çš„å…¨æ¯è®°å½•æ料以外还有光色ææ–™ã€å…‰æŠ˜å˜æ™¶ä½“和强电介质æ料等,详细情况请读者å‚阅有关著作。